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VALCOM推出高真空专用放大器内置压力传感器VCCP系列,实现微压精密测量新突破?

一、?核心结构与测量原理?
VCCP系列采用放大器与压力传感器一体化设计,专用于高真空环境下的绝对压力测量。其核心传感元件采用陶瓷铝材质受感部,结合SUS316L连接螺丝与多重O型圈密封结构,形成稳定的压力传导通道。传感器通过陶瓷材料的压阻效应,将1500Pa(abs)至10kPa(abs)范围内的绝对压力信号转换为电信号,内置的高精度放大器对微弱信号进行即时放大与线性化处理。该结构通过IP54防护等级外壳封装,确保在真空环境下长期稳定运行,特别适用于半导体制造、真空镀膜等对介质纯净度要求严苛的工业场景。

二、?核心技术特点?

多量程可配置?:提供1500Pa(abs)、5kPa(abs)、10kPa(abs)三种校准量程可选,用户可根据实际测量需求指定量程范围,实现最佳测量精度
双输出模式?:支持1~5V电压输出与4~20mA四线制电流输出两种模式,分别适用于不同传输距离与抗干扰需求场景
宽温区稳定性?:在0~70℃工作温度范围内,零点和输出温度影响均控制在±0.5%F.S./±10℃以下,有效克服环境温度波动对测量精度的影响
高动态响应?:配置250Hz响应频率,能够准确捕捉真空系统中的快速压力变化,满足过程控制的实时性要求

三、?性能参数与精度指标?
该传感器在非线性度和滞后性方面均达到±0.8%F.S.以下的精度水平,最大允许压力达400kPa,具备较高的过载保护能力。电源采用DC24V(±10%)供电,根据输出模式不同功耗分别为25mA(电压输出)和42mA(电流输出)。连接方式提供无电缆(WN)、防水连接器+2m电缆(WS/WR)三种选项,安装螺丝规格涵盖R1/4、R3/8、G1/4、G3/8四种国际标准。O型圈材质可根据介质特性选择EPDM、氟橡胶或全氟橡胶,确保与不同测量介质(水、油、气体等)的化学兼容性。整机质量约470g,兼具结构强度与安装便利性。

四、?应用优势与行业价值?
VCCP系列通过将放大器内置的设计,解决了传统分离式压力传感器在真空应用中信号衰减、抗干扰能力差的问题。其陶瓷受感部材质有效克服了腐蚀性介质对传感元件的侵蚀,延长了设备使用寿命。在半导体制造工艺中,该传感器能够精确监测真空腔室的压力变化,为工艺控制提供关键数据支撑。在科研实验领域,其高精度绝对压力测量能力为新材料合成、表面分析等研究提供了可靠的测量保障。目前该系列已广泛应用于真空镀膜设备、电子束焊接装置、粒子加速器等高端装备领域,显著提升了真空压力控制的可靠性与精确度。

 
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